在芯片制造过程中，超纯水树脂发挥着重要作用，具体如下：
1、保证水质符合生产要求
去除杂质和离子：芯片制造对水质要求极高，超纯水树脂可吸附水中的钙镁离子及其他排在前面的离子，还能去除水中的杂质、重金属离子等有害物质，使水质达到电子工业生产用水的严格标准。例如，阳离子树脂主要去除水中的钙镁离子，避免加热结垢；阴离子树脂可降低电导率，满足芯片制造对纯水的需求。
2、提升水质纯度：超纯水树脂一般用于超纯水处理系统末端，能确保系统出水水质可达到18兆欧以上，对TOC、SIO2都有一定的控制能力，进一步提升水质，保证芯片制造过程中使用的超纯水达到高纯度标准。
保障芯片性能和产量
3、防止设备性能下降：在芯片生产过程中，几乎每个过程都需要超纯水清洗。一旦水质不合格或水中有杂质，设备的性能和产量就会降低。超纯水树脂通过有效去除水中杂质和离子，保证了超纯水的质量，从而防止因水质问题导致芯片制造设备性能下降。
4、提高芯片生产良率：在用纳米超精细工艺处理半导体时，如果在各种工艺前后留下小颗粒，会导致误差。超纯水树脂制备的高质量超纯水用于清洗晶圆，可确保清洁度，提高半导体生产率和芯片的生产良率。
5、维持生产系统稳定运行
连续稳定提供超纯水：以莱特莱德超纯水设备为例，该设备采用超纯水树脂相关工艺，可连续稳定生产优质超纯水，不会因树脂再生而停止运行，保障了芯片制造过程的连续性。
6、减少设备维护成本：超纯水树脂处理后的超纯水可避免对芯片制造设备造成腐蚀和污染，减少设备故障和损坏的概率，降低设备维护成本和维修频率，保证生产系统的稳定运行。
